项目编号：XC24000366
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购谐振器AlN C-SOI全流程工艺开发技术服务。
1、自2024年1月1日起签署的成交合同需采用采购方提供的统一模板（服务类），合同模板可在报名后响应时在系统内预览，供应商提交响应材料即表明认可采用统一模板并已认真阅读其中的所有条款★★★。
2、所有响应供应商所提交的支撑材料均须加盖红色供应商公章（供应商公章为黑色复印件、加盖合同专用章等其他印章的均不予认可），否则视为无效材料。
3、如货物生产商与响应供应商不一致的，响应佐证材料可仅加盖响应供应商公章且保障售后服务能力。不得仅加盖生产商公章，否则不予认可并视为无效响应，可同时加盖生产商与响应供应商公章。
4、所有响应供应商如对于已发布的迅采公告中的技术参数、服务需求、公告附件中的内容有疑问的，请在响应前联系采购需求联系人进行充分的沟通和交流。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付或完成的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于除家具以外的货物类与服务类项目）
5、由于家具类项目较为特殊、如本项目为家具类项目，响应供应商原则上应当在响应前主动联系采购需求联系人，充分了解项目相关需求，必要时采购需求联系人可要求潜在供应商在响应前现场实地踏勘或测量等。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付并完成安装验收的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于家具类项目）
6、如本迅采项目需求文件中提到公告附件的，供应商需要先在采购管理系统中进行注册，注册成功并报名本项目后，可在本项目的响应界面查询并下载其公告附件。
7、若本项目需要采购的是仪器设备的，供应商所提交的仪器设备清单中不得包含有最新版上海市政府集中采购目录内商品，若有则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。
8、若本项目需要采购的是仪器设备的，所采购的仪器设备均为国产设备，无进口设备。如供应商提交响应的仪器设备包含有进口设备的，视为无效响应，将被判定为未实质性响应。（无论该设备现在何处，需要经过海关清关结算的均判定为进口设备）。
9、供应商所有提交的响应材料均须为中文文件，若原为外文说明书等佐证材料的，供应商需要同时附上中文翻译件。如供应商仅提交外文响应文件的，该指标视为未实质性响应。
10、供应商所有提交的响应文件落款日期均需要在本项目公告期内，否则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。情节严重的将被认定为提前泄露项目信息并严肃处理。（若本项目非第一次公告的，响应文件落款日期以本公告为准，不得直接使用往期落款日期的响应文件）。
11、供应商响应时的响应操作、响应说明、加盖公章的附件证明须保持完全一致。
12、本项目若由采购代理机构承办的，项目服务费需要由成交供应商直接向采购代理机构支付，计费依据与采购代理机构支付信息详见本公告下方内容。
一、供应商资质要求
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
二、项目概况
| 需求名称 | 是否需要附件证明 | 需求说明 |
|---|---|---|
| 服务内容、流程及方案 | 是 | 供应商需基于需求方提供的9片客供片和设计版图进行谐振器AlN C-SOI全流程工艺的技术开发，供应商提供2片常规硅裸片做为全流程的先行实验片。 工艺开发流程如下： （1）C-SOI腔体刻蚀（按对应版图）：腔体直径：200μm~600μm； （2）压电叠层沉积：下电极钼厚0.2μm±10%，AlN 厚1μm±10%，上电极钼厚0.2μm±10%； （3）上电极Mo刻蚀（按对应版图） （4）SiO2沉积 SiO2 PECVD 0.5μm±10%； （5）上电极过孔刻蚀（按对应版图） （6）下电极过孔刻蚀（按对应版图） （7）金属铝铜沉积 金属铝铜厚1μm±10%； （8）金属铝铜刻蚀（按对应版图） （9）正面深槽刻蚀（按对应版图） 交付成果：9片谐振器AlN C-SOI全流程工艺晶圆样品（供应商响应时需扩展描述不得照抄响应，供应商需要在服务报价模块填报详细服务报价明细。） |
| 服务团队 | 是 | 供应商针对本服务项目所能提供的人员数量不少于3人，其中不少于1名项目经理 、1名PIE制程整合工程师、1名PE制程工程师。供应商响应时需要提供服务团队人员清单及其分工，并加盖公章。 |
| 服务质量保证措施 | 是 | 供应商应按照采购方要求的服务内容和服务期限提供相应的服务，供应商响应时需要提供相应的工艺开发约定制度文件，并加盖公章。 |
| 进度计划及保证措施 | 是 | 服务期限内，采购方与供应商需每个月召开一次项目进度沟通会议，讨论相关进度信息、量测数据、后续计划等。2025年3月前完成压电叠层沉积。（供应商需提供进度计划表及保证进度的措施承诺，并加盖供应商公章） |
| 安全保密 | 是 | 供应商需对本次采购项目涉及的技术信息承担保密义务。（供应商须提供针对本项目的保密承诺书，并加盖供应商公章） |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 公司综合实力 | 是 | 供应商需提供公司简介，技术团队介绍等以证明其综合实力 |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2021年1月起至今的同类工艺开发技术服务的合同证明，证明供应商具备该类工艺的开发经验与能力 |
| 付款方式 | 是 | 合同签署并生效后一个月内，采购方向供应商一次性支付成交总金额的100%。供应商未按采购人要求的服务内容与质量标准履行服务职责，给采购方造成实际损失的，供应商应按实赔偿。因供应商服务能力、服务质量问题导致采购方无法实现合同目的，或供应商无正当理由而拖延服务的，采购方有权单方解除合同并根据情况向供应商追回已付合同款项及追索最高为成交总金额50%的违约金。 |
| 服务期限 | 是 | 从2024年12月到2025年8月 |
三、质量标准等要求（模板合同节选）
1、质量标准和要求
成交供应商所提供的服务的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
2、验收
服务根据合同的规定完成后，采购方应及时进行根据合同的规定进行服务验收。成交供应商应当以书面形式向采购方递交验收通知书，采购方在收到验收通知书后的10个工作日内，确定具体日期，由双方按照本合同的规定完成服务验收。采购方有权委托第三方检测机构进行验收，对此成交供应商应当配合。
如果属于成交供应商原因致使系统未能通过验收，成交供应商应当排除故障，并自行承担相关费用，同时进行试运行，直至服务完全符合验收标准。
如果属于采购方原因致使系统未能通过验收，采购方应在合理时间内排除故障，再次进行验收。如果属于故障之外的原因，除本合同规定的不可抗力外，采购方不愿或未能在规定的时间内完成验收，则由成交供应商单方面进行验收，并将验收报告提交采购方，即视为验收通过。
3、保密
如果采购方或成交供应商提供的内容属于保密的，应签订保密协议，甲乙双方均有保密义务。
4、补救措施和索赔
采购方有权根据质量检测部门出具的检验证书向成交供应商提出索赔。
在服务期限内，如果成交供应商对提供服务的缺陷负有责任而采购方提出索赔，成交供应商应按照采购方同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜：
（1）根据服务的质量状况以及采购方所遭受的损失，经过买卖双方商定降低服务的价格。
（2）成交供应商应在接到采购方通知后七天内，根据合同的规定负责采用符合规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来更换在服务中有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由成交供应商负担。
（3）如果在采购方发出索赔通知后十天内成交供应商未作答复，上述索赔应视为已被成交供应商接受。如果成交供应商未能在采购方发出索赔通知后十天内或采购方同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购方有权从应付的合同款项中扣除索赔金额，如不足以弥补采购方损失的，采购方有权进一步要求成交供应商赔偿。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延服务，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实、可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间提供服务，采购方可以应付的合同款项中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每（天）赔偿延期服务的服务费用的百分之零点五（0.5%）计收，直至提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五（5%）。（一周按七天计算，不足七天按一周计算。）一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
四、汇款信息与代理服务费收费标准
1、汇款信息
采购代理机构名称：上海财瑞建设管理有限公司
采购代理机构开户银行（人民币）：中国农业银行上海定西路支行
账号（人民币）：03303400040046533
户名：上海财瑞建设管理有限公司
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础，再以63.71折计取（不低于2500.00元人民币）。
上海大学
2024-11-21